发布日期：2019-12-31
石英晶振,以其崇高频率巩固度、高Q值、高振荡频率及体积精巧等特色,在军事、通信、电脑、家用电器及种种产业电子装备中获得了宽泛的运用。跟着科学技术的接续开展,对石英晶振谐振器切确度的请求越来越高,切确调治石英晶振谐振器的频率,是国表里钻研和制造中的热门疑问。 本文索求性钻研了一种新鲜的频率微调技术——激光刻蚀微调。论文从激光刻蚀机制、刻蚀工艺等方面深刻钻研了激光刻蚀微调技术,并对若何应答和削减刻蚀毁伤、完成家当化运用提出了计划。 论文事情获得的要紧钻研功效有: 1.提出并完成了激光减薄和激光刻蚀图形两种激光刻蚀技巧对石英晶振谐振器件举行频率微调。钻研后果评释,这两种激光刻蚀技术都能够用来切确微调石英晶振器的频率,此中激光刻蚀图形技巧更有益于家当化运用。这一钻研事情在国外上还未见报道。 2.经历对激光刻蚀毁伤的机理的钻研,并连结试验钻研,提出了四变量技巧,即大气情况、真空情况、激光减薄和激光刻蚀图形,相配因而影响激光频率微调后果的四个互相自力的自变量,而非常终的刻蚀量即是方程的因变量。钻研评释,在每一种详细的事情情况下,运转每一种详细的刻蚀技术时,都找到了激光电流、激光频率和Q脉冲宽度三个参数与微调后果的干系;关于不变的石英晶片三个参数均存在一个毁伤域值,当跨越此域值时就会对晶片发生毁伤,同时,关于大气情况和真空情况,域值也有所差别。经历试验钻研找出了非常大的无毁伤刻蚀调治量为:激光减薄工艺真空中非常大的无毁伤调治量为500ppm摆布,大气中为100ppm摆布。激光刻蚀图形工艺则可达2000ppm以上。这为激光刻蚀调频技术的运用供应了有代价的工艺参数。 3.在上述钻研的底子上,进一步探究了激光刻蚀工艺的家当化疑问以及在其余平台的运用,提出了多晶片同时微调、多图形微调等计划,提出了石英晶振片频率微调体系整体计划,并对激光频率微调技术的开展趋向举行了展望性说明。